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性参数 |
数值 |
备注 |
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适用功率等 |
10~40kW |
可定制 |
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氢气流量 |
8.5 ~ 850 SLPM |
可定制 |
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流量控制误差 |
1%FS |
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压力控制范围 |
5 ~ 300 kPa(g) |
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背压控制误差 |
±1kPa |
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吹扫压力波动 |
<2kPa |
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